珂瑪科技：公司12英寸靜電卡盤已完成驗(yàn)證並實(shí)現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)

【財(cái)華社訊】11月12日，珂瑪科技(301611.SZ)在互動(dòng)平臺(tái)表示，公司先進(jìn)陶瓷主要應(yīng)用於晶圓製造(包括存儲(chǔ)芯片)前道工藝設(shè)備，目前已進(jìn)入刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光刻和氧化擴(kuò)散等多種設(shè)備。截至目前，公司12英寸靜電卡盤已完成驗(yàn)證並實(shí)現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)，12寸多區(qū)加熱靜電卡盤已完成產(chǎn)品開發(fā)，公司正積極推進(jìn)其驗(yàn)證進(jìn)程。